Proton beam micromachined buried microchannels in negative tone resist materials
Proton beam micromachined buried microchannels in negative tone resist materials
复制标题
负性抗蚀剂材料中的质子束微加工埋置微通道
DOI：
10.1016/j.nimb.2007.02.055
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发表时间：
2007
影响因子：
1.3
通讯作者：
E. Valamontes
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
I. Rajta;M. Chatzichristidi;E. Baradács;C. Cserháti;I. Raptis;K. Manoli;E. Valamontes
