ICP-CVD法によるcBN核生成・成長に及ぼす動的ガス組成費の影響
ICP-CVD法によるcBN核生成・成長に及ぼす動的ガス組成費の影響
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动态气体成分成本对 ICP-CVD 法 cBN 成核和生长的影响
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉田豊信
中科院分区：
文献类型：
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作者：
野瀬健二;十倉祐紀;中村圭輔;吉田豊信
