M.Shiratani, K.Koga, A.Harikai, T.Ogata, Y.Watanabe: "Effects of Excitation Frequency and H_2 Dilution on Cluster Generation in Silane High-Frequency Discharge"MRS Symp Proc.. 762. A9.5.1-A9.5.6 (2003)
M.Shiratani, K.Koga, A.Harikai, T.Ogata, Y.Watanabe: "Effects of Excitation Frequency and H_2 Dilution on Cluster Generation in Silane High-Frequency Discharge"MRS Symp Proc.. 762. A9.5.1-A9.5.6 (2003)
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M.Shiratani、K.Koga、A.Harikai、T.Ogata、Y.Watanabe：“激发频率和 H_2 稀释对硅烷高频放电中团簇生成的影响”MRS Symp Proc.. 762. A9.5.1-A9
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