LP-CVDポリシリコン薄膜材の繰返し引張り疲労
LP-CVDポリシリコン薄膜材の繰返し引張り疲労
复制标题
LP-CVD多晶硅薄膜材料的重复拉伸疲劳
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木
中科院分区：
文献类型：
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作者：
武智;陳強;楠川;刈谷;大平;鈴木
