日下 一也: "交代式スパッタリング法によるAlN膜の残留応力測定" 材料. Vol.46,No.12. 1429-1435 (1997)
日下 一也: "交代式スパッタリング法によるAlN膜の残留応力測定" 材料. Vol.46,No.12. 1429-1435 (1997)
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Kazuya Kusaka：“通过交替溅射法测量 AlN 膜的残余应力”材料，第 46 卷，第 1429-1435 期。
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