籏野嘉彦: 第6回プラズマプロセシング研究会資料. 19-22 (1989)
籏野嘉彦: 第6回プラズマプロセシング研究会資料. 19-22 (1989)
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Yoshihiko Kasono:第六届等离子体处理研究组材料 19-22 (1989)。
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