ナノ表面構造を持つカンチレバーの力学応答を利用した湿度センサ
ナノ表面構造を持つカンチレバーの力学応答を利用した湿度センサ
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利用纳米表面结构悬臂梁机械响应的湿度传感器
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小野 崇人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
外間 匠;菊池 亜紀応;Nguyen Van Toan;戸田 雅也;小野 崇人
