T.Shibata, K.Unno, E.Makino, Y.Ito, S.Shimada: "Characterization of Sputtered ZnO Thin Film as Sensor and Actuator for Diamond AFM Probe"Sensors and Actuators. A102(1-2). 106-113 (2002)
T.Shibata, K.Unno, E.Makino, Y.Ito, S.Shimada: "Characterization of Sputtered ZnO Thin Film as Sensor and Actuator for Diamond AFM Probe"Sensors and Actuators. A102(1-2). 106-113 (2002)
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T.Shibata、K.Unno、E.Makino、Y.Ito、S.Shimada：“溅射 ZnO 薄膜作为金刚石 AFM 探针传感器和执行器的表征”传感器和执行器。
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