Y.Urano: "Production of l-m-size uniform plasma by modfied magnetron-typed RF discharge with a subsidary electrode for resonance" Thin Solid Films. 316. 60-64 (1998)
Y.Urano: "Production of l-m-size uniform plasma by modfied magnetron-typed RF discharge with a subsidary electrode for resonance" Thin Solid Films. 316. 60-64 (1998)
复制标题
Y.Urano：“通过改进的磁控管型射频放电和辅助电极共振生产 1 米大小的均匀等离子体”固体薄膜。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
