T.Matsukawa: "Development of single ion implantation-controllability of implanted ion number" Appl.Surf.Sci.(to be published).
T.Matsukawa: "Development of single ion implantation-controllability of implanted ion number" Appl.Surf.Sci.(to be published).
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T.Matsukawa：“单离子注入的发展-注入离子数量的可控性”Appl.Surf.Sci.（待出版）。
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