WGモード解析に基づくマイクロプローブの直径計測原理に関する研究
WGモード解析に基づくマイクロプローブの直径計測原理に関する研究
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基于WG模式分析的微探针直径测量原理研究
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
足立篤,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Adachi;M. Michihata;T. Hayashi;Y. Takaya;峨家諒介,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩;足立篤,道畑正岐,林照剛,高谷裕浩
