Control of Crystal Orientations and Its Electrical Properties of PZT/Ru and PZT/RuO2 Thin Films by MOCVD
Control of Crystal Orientations and Its Electrical Properties of PZT/Ru and PZT/RuO2 Thin Films by MOCVD
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MOCVD 控制 PZT/Ru 和 PZT/RuO2 薄膜的晶体取向及其电性能
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N.Mizutani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Shinozaki;A.Iwasaki;N.Wakiya;N.Mizutani
