T.Katoh,Y.Nagamune,G.P.Li,S.Fukatsu,Y.Shiraki ant R.Ito: "Fabrication of ultrafine gratings on GaAs by electron beam lithography and twoーstep wet chemical etching" Appl.Phys.Lett.57. 1212-1214 (1990)
T.Katoh,Y.Nagamune,G.P.Li,S.Fukatsu,Y.Shiraki ant R.Ito: "Fabrication of ultrafine gratings on GaAs by electron beam lithography and twoーstep wet chemical etching" Appl.Phys.Lett.57. 1212-1214 (1990)
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T.Katoh、Y.Nagamune、G.P.Li、S.Fukatsu、Y.Shiraki ant R.Ito：“通过电子束光刻和两步湿化学蚀刻在 GaAs 上制作超细光栅”Appl.Phys.Lett.57。 1212-1214 (1990)
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