比田井洋史,戸倉和: "窒化ケイ素への水雰囲気での ArFエキシマレーザ照射"精密工学会学術講演会論文集. 秋季. 463-463 (1999)
比田井洋史,戸倉和: "窒化ケイ素への水雰囲気での ArFエキシマレーザ照射"精密工学会学術講演会論文集. 秋季. 463-463 (1999)
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Hiroshi Hitai、Kazu Tokura：“水气氛中氮化硅的 ArF 准分子激光照射”精密工程学会秋季会议记录 463-463。
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