圧電ダイアフラム型マイクロ超音波センサの下部電極引張力による高感度化座屈撓み制御
圧電ダイアフラム型マイクロ超音波センサの下部電極引張力による高感度化座屈撓み制御
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利用压电隔膜式微型超声波传感器下电极拉力进行高灵敏度屈曲挠度控制
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
西川顕史，清田元一郎，山下馨
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kenji Harafuji;Takahiro Okada;西川顕史，清田元一郎，山下馨
