MOVPE of GaSb, (AlGa)Sb and (AlGa)(AsSb) in a multiwafer planetary reactor
MOVPE of GaSb, (AlGa)Sb and (AlGa)(AsSb) in a multiwafer planetary reactor
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多晶片行星反应器中 GaSb、(AlGa)Sb 和 (AlGa)(AsSb) 的 MOVPE
DOI：
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发表时间：
2001
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A. Bett
中科院分区：
文献类型：
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作者：
C. Agert;P. Lányi;A. Bett
