Silicon on Insulator の超薄膜化プロセス、電子状態測定への試み
Silicon on Insulator の超薄膜化プロセス、電子状態測定への試み
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超薄绝缘体上硅工艺及电子态测量尝试
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐野泰久
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小久井一樹;武田さくら;坂田智裕;A. K. R. Ang;竹内克行;中尾敏臣;前田昂平;桃野浩樹;北川幸佑;久米田晴香;大門寛;堀田昌宏;菱谷大輔;佐野泰久
