Effects of Crucible Rotation Rate on Thermal Fluctuations of the Melt Flow in a Cz-Si Crystal Growth

Effects of Crucible Rotation Rate on Thermal Fluctuations of the Melt Flow in a Cz-Si Crystal Growth
复制标题

坩埚转速对长晶硅熔体流动热脉动的影响

DOI:
--
复制
发表时间:
--
影响因子:
5.2
通讯作者:
Wang Hao
Wang Hao
中科院分区:
工程技术2区
文献类型:
--
作者:
Yu Qinghua;Liu Xin;Liu Lijun;Wang Hao

文献摘要

相似文献