Analysis on Diamond-Like Carbon Film by RF Plasma CVD from CO gas
Analysis on Diamond-Like Carbon Film by RF Plasma CVD from CO gas
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CO 气体中射频等离子体 CVD 分析类金刚石碳膜
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Toru Harigai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Toru Harigai;et. al.;針谷達;Toru Harigai;Yuki Yasuoka;Toru Harigai
