UBMスパッタ法により形成した金属ガラス膜の熱インプリント成形
UBMスパッタ法により形成した金属ガラス膜の熱インプリント成形
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UBM溅射法金属玻璃薄膜热压印成型
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
森河 務
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小畠 淳平;三浦 健一;森河 務
