Masaharu Shiratani: "DUSTLESS HIGHーSPEED DEPOSITION OF aーSi:H BY MODULATED RF DISCHARGE METHOD" Proc.13th Symp.Ion Sources and IonーAssisted Tech.225-228 (1990)
Masaharu Shiratani: "DUSTLESS HIGHーSPEED DEPOSITION OF aーSi:H BY MODULATED RF DISCHARGE METHOD" Proc.13th Symp.Ion Sources and IonーAssisted Tech.225-228 (1990)
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Masaharu Shiratani：“通过调制射频放电方法实现 a-Si:H 的无尘高速沉积”Proc.13th Symp.Ion Sources and Ion-Assisted Tech.225-228 (1990)
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