液中における4H-SiCのレーザ加工
液中における4H-SiCのレーザ加工
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液体中 4H-SiC 激光加工
DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
細野高史
中科院分区:
文献类型:
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作者:
梅田雪麿;細野高史