アーク蒸着とマグネトロンスパッタリングを重畳した気相成長法により作製したα-BCN膜の評価
アーク蒸着とマグネトロンスパッタリングを重畳した気相成長法により作製したα-BCN膜の評価
复制标题
电弧蒸发与磁控溅射相结合的气相生长法制备α-BCN薄膜的评价
DOI：
--
复制
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
大竹尚登
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
竹内亮大郎;岩本喜直;河越雅雄;谷口紘章;平田祐樹;赤坂大樹;大竹尚登
