H. Sunami et al.: "Orientation-Dependent Anisotropic TMAH Etchant Applied to 3-D Silicon Nanostructure Formation"J Proc. Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/nano Technologies. 367-372 (2002)
H. Sunami et al.: "Orientation-Dependent Anisotropic TMAH Etchant Applied to 3-D Silicon Nanostructure Formation"J Proc. Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/nano Technologies. 367-372 (2002)
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H. Sunami 等人：“应用于 3-D 硅纳米结构形成的方向相关各向异性 TMAH 蚀刻剂”J Proc。
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