有機分子膜上の官能基を利用した金属酸化物の空間選択的原子層堆積
有機分子膜上の官能基を利用した金属酸化物の空間選択的原子層堆積
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利用有机分子薄膜上的官能团进行金属氧化物的空间选择性原子层沉积
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小野赳，細見拓郎，長島一樹，高橋綱己，田中航，金井真樹，柳田 剛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Hosomi;S. Kurose;A. Inoue;K. Nagashima;T. Takahashi1;W. Tanaka;W. Mizukami;M. Kanai;and T. Yanagida;黒瀬峻平，井上暉英，細見拓郎，長島一樹，高橋綱己，張国柱，金井真樹，柳田剛;小野赳，細見拓郎，長島一樹，高橋綱己，田中航，金井真樹，柳田 剛
