Electric Feed-through in Vacuum Package of Laser Scanning Display Mirror Using Anodic Bonding
Electric Feed-through in Vacuum Package of Laser Scanning Display Mirror Using Anodic Bonding
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采用阳极键合的激光扫描显示镜真空封装中的电馈通
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Hane
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.M.Chu;K.Hane
