C60イオン照射によって形成された非晶質SiN薄膜中のイオントラックの膜厚依存性

C60イオン照射によって形成された非晶質SiN薄膜中のイオントラックの膜厚依存性
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C60离子照射形成的非晶SiN薄膜中离子轨迹的膜厚依赖性

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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中嶋薫,森田陽亮,北山巧,鈴木基史,木村健二,鳴海一雅,斎藤勇一,辻本将彦,磯田正二
中嶋薫,森田陽亮,北山巧,鈴木基史,木村健二,鳴海一雅,斎藤勇一,辻本将彦,磯田正二
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Yoshiaki Sugimoto;Martin Ondracek;Masayuki Abe;Pablo Pou;Seizo Morita;Ruben Perez;Fernando Flores;and Pavel Jelinek;中嶋薫,森田陽亮,北山巧,鈴木基史,木村健二,鳴海一雅,斎藤勇一,辻本将彦,磯田正二

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