平田敦,吉川昌範: "生成ダイヤモンド膜に及ぼすアーク放電プラズマジェットCVD装置の電極位置の影響" 精密工学会誌. (印刷中).

平田敦,吉川昌範: "生成ダイヤモンド膜に及ぼすアーク放電プラズマジェットCVD装置の電極位置の影響" 精密工学会誌. (印刷中).
复制标题

Atsushi Hirata、Masanori Yoshikawa:“电弧放电等离子喷射 CVD 设备中的电极位置对所生产的金刚石薄膜的影响”,日本精密工程学会杂志(正在出版)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献