A. Takahashi: "Control of ion energy in an ECR plasma" Proc. 12th Symp. on Plasma Processing. 241-244 (1995)
A. Takahashi: "Control of ion energy in an ECR plasma" Proc. 12th Symp. on Plasma Processing. 241-244 (1995)
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A. Takahashi：“ECR 等离子体中离子能量的控制”Proc。
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