森 勇藏 他: "回転電極を用いた大気圧プラズマCVDによるSi薄膜の高速成膜に関する研究(第3報)-a-si:H成膜プロセスにおけるパウダーの影響-" 1996年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 85-86 (1996)
森 勇藏 他: "回転電極を用いた大気圧プラズマCVDによるSi薄膜の高速成膜に関する研究(第3報)-a-si:H成膜プロセスにおけるパウダーの影響-" 1996年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 85-86 (1996)
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Yuzo Mori等人：“使用旋转电极通过大气压等离子体CVD高速沉积Si薄膜的研究（第3次报告）-粉末对a-si:H薄膜沉积过程的影响”1996年日本精密工程学会秋季学术会议论文集。85-86（1996）
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