Fabrication of ultrathin films of Ta2O5 by a sol-gel method
Fabrication of ultrathin films of Ta2O5 by a sol-gel method
复制标题
溶胶-凝胶法制备 Ta2O5 超薄膜
DOI：
10.1016/j.tsf.2012.12.054
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
H. Bouwmeester
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Wolf;J. Roitsch;J. Mayer;A. Nijmeijer;H. Bouwmeester
