加藤 勇: "二重管式同軸線路形MPCVD装置によるa-Si:H/SiN多層膜の作製" 第59回応用物理学会学術講演会予稿集. 2. 829-829 (1998)
加藤 勇: "二重管式同軸線路形MPCVD装置によるa-Si:H/SiN多層膜の作製" 第59回応用物理学会学術講演会予稿集. 2. 829-829 (1998)
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加藤勇：“使用双管同轴线型 MPCVD 设备制备 a-Si:H/SiN 多层膜”第 59 届日本应用物理学会年会论文集 2. 829-829 (1998)。
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