New deposition method for high hardness ta-CNx with a filtered arc deposition and ion beam mixing
New deposition method for high hardness ta-CNx with a filtered arc deposition and ion beam mixing
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采用过滤电弧沉积和离子束混合的高硬度 ta-CNx 沉积新方法
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N. Umehara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Sako;T. Hasegawa;H. Onda;M. Shiotsuka;M. Watanabe;T. Shinmyozu;S. Tojo;M. Fujitsuka;T. Majima;Y. Hirao;T. Kubo;T. Iwanaga;S. Toyota;H. Takemura;段下 一平;N. Umehara
