K.Hirakuri, M.Yoshimura, G.Friedbacher: "Application of DLC films as masks for integrated circuit fabrication"Diamond and Related Materials. 12. 1013-1017 (2003)
K.Hirakuri, M.Yoshimura, G.Friedbacher: "Application of DLC films as masks for integrated circuit fabrication"Diamond and Related Materials. 12. 1013-1017 (2003)
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K.Hirakuri、M.Yoshimura、G.Friedbacher：“DLC 薄膜作为集成电路制造掩模的应用”金刚石和相关材料。
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