セリア砥粒の分散・凝集状態制御による研磨能率向上効果の影響要因について
セリア砥粒の分散・凝集状態制御による研磨能率向上効果の影響要因について
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控制二氧化铈磨粒分散和团聚状态提高抛光效率效果的影响因素
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
盧 毅申，土屋健介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yoshikazu Nakai;Takuto Imanaka and Daiki Shiozawa;盧 毅申，土屋健介
