A Novel Sputter System with full target erosion
A Novel Sputter System with full target erosion
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具有完全靶腐蚀的新型溅射系统
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
C.Honda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.M.Sung;S.Atsuta;J.H.Yang;M.Otsubo;C.Honda
