H.Saka,J.Shimatani,Suprijadi and T.Nango: "FIB/TEM observation of defect structure underneath an indentation in silicon "Mat,Res,Soc.Symp.Proc.. 522. 71-76 (1998)
H.Saka,J.Shimatani,Suprijadi and T.Nango: "FIB/TEM observation of defect structure underneath an indentation in silicon "Mat,Res,Soc.Symp.Proc.. 522. 71-76 (1998)
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H.Saka、J.Shimatani、Suprijadi 和 T.Nango：“硅压痕下缺陷结构的 FIB/TEM 观察”Mat,Res,Soc.Symp.Proc.. 522. 71-76 (1998)
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