河崎 泰宏: "真空紫外希ガスエキシマランプを用いた光CVD"信学技報. 99. 19-24 (1999)

河崎 泰宏: "真空紫外希ガスエキシマランプを用いた光CVD"信学技報. 99. 19-24 (1999)
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Yasuhiro Kawasaki:“使用真空紫外稀有气体准分子灯的光学 CVD”IEICE 技术报告。 99. 19-24 (1999)。

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