T.Sumomogi et al.: "Evaluation of surface and subsurface cracks in nanoscale-machined single-crystal silicon by scanning force microscope and scanning laser microscope"Materials Characterization. 48. 129-123 (2002)
T.Sumomogi et al.: "Evaluation of surface and subsurface cracks in nanoscale-machined single-crystal silicon by scanning force microscope and scanning laser microscope"Materials Characterization. 48. 129-123 (2002)
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T.Sumomogi 等人：“通过扫描力显微镜和扫描激光显微镜评估纳米级加工的单晶硅的表面和次表面裂纹”材料表征。
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