离子束溅射薄膜光学常数表征的光斑效应

离子束溅射薄膜光学常数表征的光斑效应
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DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
光学学报
影响因子:
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通讯作者:
陈德应
陈德应
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
刘华松;杨霄;刘丹丹;姜承慧;李士达;季一勤;张锋;王利栓;姜玉刚;陈德应

文献摘要

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