Research on Producing Large-Diameter Microwave Plasmas and Controlling Distributions Using the Antenna Emission Electric Field
Research on Producing Large-Diameter Microwave Plasmas and Controlling Distributions Using the Antenna Emission Electric Field
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利用天线发射电场产生大直径微波等离子体并控制分布的研究
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Yasaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Naruiwa;Y. Yasaka
