三次元集積型強誘電体デバイスへ向けた三元系非晶質酸化物半導体材料

三次元集積型強誘電体デバイスへ向けた三元系非晶質酸化物半導体材料
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用于三维集成铁电器件的三元非晶氧化物半导体材料

DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
浦岡行治
浦岡行治
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
髙橋崇典;上沼睦典;小林正治;浦岡行治

文献摘要

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