Silicon-on-sapphire CMOS and opportunities in niche markets: Old wine in a new bottle
Silicon-on-sapphire CMOS and opportunities in niche markets: Old wine in a new bottle
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蓝宝石上硅 CMOS 和利基市场机遇：新瓶装旧酒
DOI：
10.1109/soi.2008.4656270
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A. Andreou
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Andreou
蓝宝石上的硅一直是一项吸引人的技术，在利基市场上有应用前景。在这篇文章中，我们总结了过去二十年来我们在SOS CMOS技术方面的工作，并确定了蓝宝石衬底的独特物理属性在系统集成和封装方面提供优势的机会。我们将重点讨论两个尚未开发的主要应用领域，生命科学和生物技术的微系统，以及MEMS的高性能光电读数。
Silicon-on-sapphire CMOS has always been an intriguing technology with prospects for applications in niche markets. In this paper, we summarize our work with SOS CMOS technology over the last two decades and identify opportunities where the unique physical properties of the sapphire substrate offer advantages in systems integration and packaging. We focus our discussion on two largely unexplored major application areas, microsystems for the life sciences and biotechnology and on high performance optoelectronic readouts for MEMS.