フィルタードアーク蒸着法を用いたF-DLC 膜の形成
フィルタードアーク蒸着法を用いたF-DLC 膜の形成
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采用过滤电弧蒸发法形成F-DLC薄膜
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
今井貴大，藤井裕真，山野将史，針谷達，須田善行，滝川浩史，神谷雅男（伊藤光学工業），瀧真，長谷川祐史，辻信広（オンワード技研）
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Kiyohara;S. Yoshida;I. Ishikawa;T. Harigai;H. Takikawa;M. Watanabe;Y. Sugiyama;Y. Omata;Y. Kurashima;藤井裕真，今井貴大，宮本優，針谷達，須田善行，滝川浩史，田上英人（北九州高専），神谷雅男（伊藤光学），瀧真，長谷川祐史，辻信広（オンワード技研），金子智（神奈川産技セ），安井治之（石川工試），國次真輔（岡山工技セ），川口雅弘（東京都産技研），三浦健一（大阪府産技研）;今井貴大，藤井裕真，山野将史，針谷達，須田善行，滝川浩史，神谷雅男（伊藤光学工業），瀧真，長谷川祐史，辻信広（オンワード技研）
