振動片を有する円環振動子を用いた薄型超音波スピンドルモータ
振動片を有する円環振動子を用いた薄型超音波スピンドルモータ
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使用带有振动片的环形振动器的薄型超声波主轴电机
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木村俊彦 他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takehiro Takano;others;富川義朗 他;青柳学 他;田村英樹 他;高野剛浩 他;川嶋伸明 他;高野剛浩 他;青柳学 他;木村俊彦 他
