Research on a MEMS Microparticles Vacuum Chamber for Optical Levitation with a Built-In Vacuum Gauge
Research on a MEMS Microparticles Vacuum Chamber for Optical Levitation with a Built-In Vacuum Gauge
复制标题
DOI：
10.3390/photonics9120911
复制
发表时间：
2022-12-01
期刊：
影响因子：
2.4
通讯作者：
Xiao，Dingbang
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Pu，Junji;Zeng，Kai;Xiao，Dingbang
