Effect of H2O and H2 gas to the Lifetime of Vacuum-annealed Potassium-doped SiO2 Electret for MEMS Vibrational Energy Harvester
Effect of H2O and H2 gas to the Lifetime of Vacuum-annealed Potassium-doped SiO2 Electret for MEMS Vibrational Energy Harvester
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H2O 和 H2 气体对 MEMS 振动能量采集器真空退火掺钾 SiO2 驻极体寿命的影响
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
年吉 洋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
プトラ・レファルディ;小澤孝拓;本間浩章;福谷克之;年吉 洋
