K.Tsubouchi,K.Masu,N.Shigeeda,T.Matano,Y.Hiura,S.Matsumoto,T.Asaba,T.Marui,and T.Kajikawa.: "Selective and Nonselective Deposition of Aluminum by LPCVD Using DMAH and Microregion Obsevation of Single Crystal Aluminum with Scanning μーRHEED Microscope," 199
K.Tsubouchi,K.Masu,N.Shigeeda,T.Matano,Y.Hiura,S.Matsumoto,T.Asaba,T.Marui,and T.Kajikawa.: "Selective and Nonselective Deposition of Aluminum by LPCVD Using DMAH and Microregion Obsevation of Single Crystal Aluminum with Scanning μーRHEED Microscope," 199
复制标题
K. Tsubouchi、K. Masu、N. Shigeeda、T. Matano、Y. Hiura、S. Matsumoto、T. Asaba、T. Marui 和 T. Kajikawa。：“使用 DMAH 和 T. 通过 LPCVD 进行选择性和非选择性沉积铝用扫描 μーRHEED 显微镜观察单晶铝的微区域，”199
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
