ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究 第3報 : FIB により先鋭化した加工用 AFM カンチレバーを用いた微細 V 溝加工
ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究 第3報 : FIB により先鋭化した加工用 AFM カンチレバーを用いた微細 V 溝加工
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使用金刚石阵列刀具进行微加工的研究第 3 部分：使用 AFM 悬臂进行 FIB 锐化加工的精细 V 形槽加工
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
森田昇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高野登;清水大志;山田茂;森田昇
