Infrared reflection spectroscopy of adsorbed intermediates in real time during chemical vapor deposition of oxides
Infrared reflection spectroscopy of adsorbed intermediates in real time during chemical vapor deposition of oxides
复制标题
氧化物化学气相沉积过程中实时吸附中间体的红外反射光谱
DOI：
10.1116/6.0001328
复制
发表时间：
2021
影响因子：
2.9
通讯作者：
Abelson, John R.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Zhang, Zhejun V.;Girolami, Gregory S.;Abelson, John R.
